典型文献
低噪声触针式表面粗糙度探测系统及测量不确定度分析
文献摘要：
为了提升现有触针式表面粗糙度测量仪的计量能力,从降低仪器噪声水平的角度出发,研制了具有低噪声、无阿贝误差特性的触针式表面粗糙度探测系统.该系统采用样品扫描的方式进行接触测量,利用高精度电容传感器对触针的垂直运动进行实时测量,从而表征被测物的真实微观表面,实现了纳米尺度测量下的低噪声水平.系统使用校准触针式表面粗糙度测量仪的标准样板进行Ra测量和不确定度评估,结果表明:对Type C3标准样板测量的扩展不确定度U=2.8 nm(k=2).
文献关键词：
计量学;表面粗糙度;触针式测量仪;低噪声探测系统;Type C3标准样板;不确定度
中图分类号：
作者姓名：
史舟淼;张树;施玉书;皮磊;胡佳成
作者机构：
中国计量大学,浙江杭州310018;深圳中国计量科学研究院技术创新研究院,广东深圳518132;中国计量科学研究院,北京100029
文献出处：
引用格式：
[1]史舟淼;张树;施玉书;皮磊;胡佳成-.低噪声触针式表面粗糙度探测系统及测量不确定度分析)[J].计量学报,2022(09):1122-1127
A类：
高精度电容传感器,触针式测量仪,低噪声探测系统
B类：
测量不确定度,不确定度分析,表面粗糙度测量,计量能力,噪声水平,阿贝误差,误差特性,垂直运动,实时测量,微观表面,纳米尺度,标准样板,Ra,不确定度评估,Type,C3,扩展不确定度
AB值：
0.219307
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