典型文献
用于扫描电子显微镜校准的10 μm格栅样板
文献摘要：
扫描电子显微镜是半导体领域用于关键尺寸测量的重要仪器.为了保证仪器量值的准确和一致,需要对扫描电子显微镜进行校准.首先,针对校准规范中提到的正交畸变和线性失真度参数,采用半导体工艺,研制了一种标称值为10 μm的格栅样板.其次,为了准确评价格栅特征的一致性,研究了一种矩形检测算法.测量过程中,使用该算法对样板的格栅特征进行测量,并把使用原子力显微镜获取的测量数据作为参考值.实验结果显示:矩形检测算法能够快速检测出格栅特征,测试数据稳定在6 nm以内.此外,研制的格栅样板一致性好,一致性参数控制在0.2以内,能够应用于扫描电子显微镜的校准.
文献关键词：
计量学;格栅样板;扫描电子显微镜;矩形检测算法;原子力显微镜;校准
中图分类号：
作者姓名：
张晓东;赵琳;李锁印;韩志国;许晓青;吴爱华
作者机构：
中国电子科技集团公司第十三研究所,河北石家庄050051
文献出处：
引用格式：
[1]张晓东;赵琳;李锁印;韩志国;许晓青;吴爱华-.用于扫描电子显微镜校准的10 μm格栅样板)[J].计量学报,2022(12):1544-1548
A类：
格栅样板,矩形检测算法
B类：
半导体领域,关键尺寸,尺寸测量,器量,校准规范,畸变,线性失真,失真度,半导体工艺,标称,准确评价,原子力显微镜,测量数据,参考值,快速检测,出格,测试数据,参数控制
AB值：
0.219104
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