典型文献
质量参数评价在微纳米间距标准样板中的应用
文献摘要：
微纳米间距标准样板作为微纳米几何量量值溯源体系中的重要组成部分,是纳米科技发展的基础保证.通过对微纳米间距样板作为标准物质基本要求的论述,指出了对比度、均匀性和稳定性考核在标准样板质量参数评价中的重要作用.以SEM作为测量仪器,对不同材料的样板进行了对比度测量;以CD-SEM作为测量仪器,对不同标称间距和不同生产单位的标准样板进行了均匀性、稳定性实验以及测量不确定度分析;通过质量参数评价实验和分析,为微纳米间距标准样板的制作和使用提供重要的理论依据.实验结果表明,质量参数评价在微纳米间距样板作为标准物质使用时具有十分重要的作用.
文献关键词：
微纳米;质量参数;评价方法;间距;对比度;均匀性;稳定性
中图分类号：
作者姓名：
许晓青;李锁印;赵琳;韩志国;张晓东;吴爱华
作者机构：
中国电子科技集团公司第十三研究所,河北 石家庄050051
文献出处：
引用格式：
[1]许晓青;李锁印;赵琳;韩志国;张晓东;吴爱华-.质量参数评价在微纳米间距标准样板中的应用)[J].传感技术学报,2022(11):1458-1462
A类：
B类：
质量参数,微纳米,标准样板,几何量,量量,量值溯源,溯源体系,纳米科技,基础保证,标准物质,对比度,稳定性考核,测量仪器,不同材料,CD,标称,生产单位,稳定性实验,测量不确定度,不确定度分析,物质使用
AB值：
0.307196
机标中图分类号，由域田数据科技根据网络公开资料自动分析生成，仅供学习研究参考。
