典型文献
白光干涉测量法中蝠翼效应的模拟分析
文献摘要：
为探索白光干涉仪在测量矩形台阶时的蝠翼效应误差,建立白光干涉虚拟测量模型.在模型中,考虑白光光源带宽和干涉物镜数值孔径以及圆孔衍射模型的影响,分析蝠翼效应与真实台阶高度、光源中心波长之间的关系.模拟结果表明当台阶高度差是λ0/4的奇数倍时会出现蝠翼效应,且越接近λ0/4的奇数倍,蝠翼效应越显著.关于对蝠翼误差的补偿,分别采用中值滤波和均值滤波两种方式对含有蝠翼效应的测量结果进行修正,并利用台阶高度、台阶与轮廓中线围成的面积两种评价参数对比补偿效果,结果表明中值滤波的修正结果优于均值滤波.
文献关键词：
白光干涉仪;蝠翼效应;衍射光学;光栅
中图分类号：
作者姓名：
李萍;闫英;周平
作者机构：
大连理工大学 精密与特种加工教育部重点实验室,辽宁 大连 116024
文献出处：
引用格式：
[1]李萍;闫英;周平-.白光干涉测量法中蝠翼效应的模拟分析)[J].中国测试,2022(01):1-8
A类：
蝠翼效应
B类：
干涉测量,测量法,白光干涉仪,立白,虚拟测量,测量模型,白光光,光源,物镜,数值孔径,圆孔衍射,台阶高度,中心波长,高度差,奇数,数倍,中值滤波,均值滤波,两种方式,轮廓中线,围成,评价参数,参数对比,衍射光学,光栅
AB值：
0.342905
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