典型文献
一种基于RF MEMS开关的四端口电子校准件设计
文献摘要：
针对射频多端口器件微波测试需求,基于SOLT校准原理设计了一种工作频率在DC～12 GHz范围内、基于RF MEMS开关的四端口电子校准件.数值仿真结果表明,在短路状态下,器件的回波损耗小于0.15 dB;在直通状态下,器件的插入损耗小于0.5 dB,端口之间的隔离度大于20 dB;在开路状态下,器件的回波损耗小于0.3 dB,端口之间的隔离度大于25 dB;同时采用微表面加工工艺,利用磁控溅射工艺对负载电阻进行了制备,其测试结果约为50Ω,符合设计要求.设计的基于RF MEMS开关的四端口校准件,具有射频性能好、体积小、易于集成等优点,能够满足X波段微波多端口器件在片测试的应用需求.
文献关键词：
RF MEMS;插入损耗;回波损耗;隔离度;微波校准
中图分类号：
作者姓名：
曹钎龙;吴倩楠;朱光州;陈玉;王俊强;李孟委
作者机构：
中北大学仪器与电子学院,太原030051;中北大学前沿交叉科学研究院,太原030051;中北大学微系统集成研究中心,太原030051;中北大学理学院,太原030051
文献出处：
引用格式：
[1]曹钎龙;吴倩楠;朱光州;陈玉;王俊强;李孟委-.一种基于RF MEMS开关的四端口电子校准件设计)[J].微电子学,2022(03):437-441
A类：
微波校准
B类：
RF,MEMS,四端,对射,多端口,口器,微波测试,测试需求,SOLT,校准原理,原理设计,工作频率,DC,GHz,短路,回波损耗,dB,直通,插入损耗,隔离度,开路,表面加工,加工工艺,磁控溅射,射工,负载电阻,射频性能,体积小,波段,波多,在片测试,应用需求
AB值：
0.394001
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