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一种基于原子力显微镜的晶圆表面粗糙度测量方法
文献摘要：
为满足晶圆表面质量的测量需求,研究了一种基于原子力显微镜的晶圆表面粗糙度测量方法.首先,介绍了表面粗糙度的定义和评定系数.其次,研究了原子力显微镜的原理和粗糙度测量方法.最后,使用原子力显微镜和白光干涉仪对同一晶圆进行对比测量.结果表明:若以白光干涉仪测量结果为参考值,原子力显微镜的测量误差在-0.32％左右,测量重复性控制在皮米量级.另外,原子力显微镜测量方法具有测量准确度高,测量范围小,速度慢,对材料无要求等特点,为工艺人员如何选择测量方案提供了技术支撑.
文献关键词：
表面粗糙度;原子力显微镜;白光干涉仪;对比测量
中图分类号：
作者姓名：
王维;吴爱华;张家欢;张晓东
作者机构：
中国电子科技集团公司第十三研究所
文献出处：
引用格式：
[1]王维;吴爱华;张家欢;张晓东-.一种基于原子力显微镜的晶圆表面粗糙度测量方法)[J].上海计量测试,2022(02):45-48
A类：
B类：
原子力显微镜,晶圆,表面粗糙度测量,表面质量,白光干涉仪,对比测量,若以,参考值,测量误差,测量重复性,皮米量级,测量准确度,测量范围,速度慢,艺人,测量方案
AB值：
0.194867
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