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功能化原子力显微镜在纳米电介质材料性能研究中的应用进展
文献摘要：
随着电子元件向微型化、柔性化、智能化发展,迫切需要介电材料具有更优异的介电性能.原子力显微镜作为一种具有纳米级高分辨率的测量仪器,在纳米电介质的研究中表现出独特的优势,功能化原子力显微镜的诞生更是为纳米电介质微区性质的研究做出重要贡献.本文综述了原子力显微镜、静电力显微镜、开尔文探针力显微镜、压电响应力显微镜和原子显微镜-红外光谱在研究介电材料纳米区域的微观形貌、界面结构、电畴变化和电荷分布方面的最新研究进展,并对现有研究中存在的问题和未来可能的发展方向进行了讨论.
文献关键词：
原子力显微镜;纳米电介质;界面;介电性能
中图分类号：
作者姓名：
孟菁饴;卢红伟;马世乐;张嘉奇;何富民;苏伟涛;赵晓东;田婷;王翼;邢誉
作者机构：
杭州电子科技大学理学院,杭州 310018;杭州电子科技大学海宁研究院,海宁 314408
文献出处：
引用格式：
[1]孟菁饴;卢红伟;马世乐;张嘉奇;何富民;苏伟涛;赵晓东;田婷;王翼;邢誉-.功能化原子力显微镜在纳米电介质材料性能研究中的应用进展)[J].物理学报,2022(24):89-111
A类：
纳米电介质
B类：
功能化,原子力显微镜,电介质材料,材料性能,电子元件,微型化,柔性化,智能化发展,介电材料,介电性能,纳米级,测量仪器,质的研究,微区,静电力,开尔文探针力显微镜,压电,微观形貌,界面结构,电畴,电荷分布,最新研究进展,未来可能
AB值：
0.238012
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