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表面粗糙度国际比对自动测量系统关键技术研究
文献摘要：
基于中国计量科学研究院的表面粗糙度基准计量装置,开展了视觉定位系统、自动操作系统和多自由度位移系统的研究,从而实现依据国际比对协议规定流程的自动化测量.实验验证表明:该系统可有效实现表面粗糙度的自动化测量,满足国际比对的要求.在对国际比对规定的表面粗糙度标准器的测量实验中,该系统的自动定位测量的重复性为4.2 nm,相比于手动定位测量提高了 2.6倍,有效地减少了测量过程中引入的人为误差.
文献关键词：
计量学;表面粗糙度;国际比对;自动测量;视觉定位;测量重复性
中图分类号：
作者姓名：
卜祥鹏;张树;皮磊;施玉书
作者机构：
中国计量科学研究院,北京100029;深圳中国计量科学研究院技术创新研究院,广东深圳518132
文献出处：
引用格式：
[1]卜祥鹏;张树;皮磊;施玉书-.表面粗糙度国际比对自动测量系统关键技术研究)[J].计量学报,2022(07):844-850
A类：
B类：
表面粗糙度,国际比对,自动测量系统,关键技术研究,国计,计量科学,科学研究院,计量装置,视觉定位系统,操作系统,多自由度,自动化测量,标准器,测量实验,自动定位,定位测量,测量重复性
AB值：
0.288319
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