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沟槽电极型声表面波耐高温谐振器的制备
文献摘要：
声表面波(SAW)传感器在高温环境的需求日益增多,硅酸镓镧因为具有良好的高温特性而提供了耐高温压电基底,但是电极在高温条件下会发生团聚而失效.该文设计了一种沟槽电极结构的耐高温SAW谐振器,采用Pt作为电极,硅酸镓镧作为压电基底,并提出了沟槽结构叉指电极的制造工艺,对沟槽结构的形貌进行了表征.通过提高沉积温度改善Pt电极质量,最终制备的波长8μm、沟槽电极厚240 nm的谐振器在1000℃下可稳定工作.
文献关键词：
声表面波(SAW);硅酸镓镧(LGS);沟槽电极;高温;Pt电极
中图分类号：
作者姓名：
张启轮;单清川;李桦林;骆伟;史汝川;郝文昌;尹玉刚;韩韬
作者机构：
上海交通大学 仪器科学与工程系,上海200240;中国电子科技集团公司 第二十六研究所,重庆 400060;北京遥测技术研究所,北京 100076
文献出处：
引用格式：
[1]张启轮;单清川;李桦林;骆伟;史汝川;郝文昌;尹玉刚;韩韬-.沟槽电极型声表面波耐高温谐振器的制备)[J].压电与声光,2022(02):175-179
A类：
沟槽电极
B类：
声表面波,耐高温,谐振器,SAW,高温环境,硅酸,高温特性,高温压电,高温条件,团聚,电极结构,Pt,沟槽结构,叉指电极,制造工艺,沉积温度,LGS
AB值：
0.276638
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