典型文献
具有高灵敏度声表面波应变传感器的仿真与设计
文献摘要：
针对高温高旋环境下部件健康监测的需求,设计了一种背部带有凹槽的基于硅酸镓镧(LGS)的声表面波应变传感器.通过COMSOL软件建立应变传感器模型,对应变传感器表面应变分布情况及传感器灵敏度进行仿真,确定了制备传感器的最佳模型参数,同时通过对传感器施加不同的温度场,得到了传感器的应变灵敏度随温度的变化规律.仿真结果表明,随着温度的升高,传感器的应变灵敏度成非线性减小,温度对应变灵敏度的影响从0.0028 Hz/(ppm·℃)增大到0.0203 Hz/(ppm·℃).上述结果为声表面波应变传感器的制备与测试提供了参考.
文献关键词：
声表面波;应变传感器;矩形腔;灵敏度;温度补偿
中图分类号：
作者姓名：
闫夏雯;谭秋林
作者机构：
中北大学,动态测试技术国家重点实验室,山西太原 030051
文献出处：
引用格式：
[1]闫夏雯;谭秋林-.具有高灵敏度声表面波应变传感器的仿真与设计)[J].仪表技术与传感器,2022(02):21-24
A类：
B类：
高灵敏度,声表面波,应变传感器,健康监测,背部,凹槽,硅酸,LGS,COMSOL,表面应变,应变分布,传感器灵敏度,应变灵敏度,ppm,矩形腔,温度补偿
AB值：
0.225927
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