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宽温区高精度压力传感器补偿方法研究
文献摘要：
为满足航空航天、船舶等领域对高精度压力传感器的需求,针对硅压阻压力传感器温度漂移大的问题,该文提出一种采集电路和补偿方法.根据压敏芯体在不同温度下的压力输出特性,采用最小二乘多项式拟合与三次样条插值相结合的方法,对传感器芯体的温度灵敏度和非线性进行补偿,使传感器在较宽的-30～90℃温度区间内,输出精度达到±0.04％FS.该电路和算法可规范化,工程应用操作简便.
文献关键词：
硅压阻压力传感器;最小二乘多项式拟合;三次样条插值;温度灵敏度;非线性
中图分类号：
作者姓名：
周蒙;何峰;张龙赐;金忠
作者机构：
中国电子科技集团公司第四十八研究所,长沙410004
文献出处：
引用格式：
[1]周蒙;何峰;张龙赐;金忠-.宽温区高精度压力传感器补偿方法研究)[J].自动化与仪表,2022(04):85-88
A类：
硅压阻压力传感器
B类：
宽温区,补偿方法,航空航天,温度漂移,采集电路,压敏,芯体,压力输出,输出特性,最小二乘多项式拟合,三次样条插值,温度灵敏度,线性进行,温度区间,输出精度,FS,和算
AB值：
0.263205
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