典型文献
针尖增强拉曼系统高数值孔径物镜对焦方法研究
文献摘要：
为提高针尖增强拉曼系统对焦准确性和效率,提出通过分析CCD相机拍摄的光斑图像的像素值实现自动对焦的方法.首先快速粗调焦缩小调焦范围,然后再慢速细调焦提高调焦精度.实验表明:与Tenengrad评价函数相比,方差评价函数更适用于针尖增强拉曼光谱测量系统自动对焦,聚焦到样品表面时对焦结果的无偏估计标准差＜0.25 μm,具有较高的重复性和鲁棒性;快速粗调焦可提高调焦效率,避免陷入局部最优解;慢速细调焦评价函数曲线在焦点附近呈现"M"形,可通过二次拟合提高调焦精度.
文献关键词：
计量学;针尖增强拉曼系统;高数值孔径物镜;自动对焦;评价函数
中图分类号：
作者姓名：
孙晓爽;高思田;黄鹭;祝敏豪;刘林伟
作者机构：
中国计量科学研究院,北京100029;中国计量大学 计量测试工程学院,浙江 杭州310018
文献出处：
引用格式：
[1]孙晓爽;高思田;黄鹭;祝敏豪;刘林伟-.针尖增强拉曼系统高数值孔径物镜对焦方法研究)[J].计量学报,2022(08):1008-1014
A类：
针尖增强拉曼系统
B类：
高数值孔径物镜,CCD,光斑图像,像素,自动对焦,粗调,调焦,小调,再慢,慢速,高调,Tenengrad,评价函数,拉曼光谱,光谱测量,测量系统,无偏估计,估计标准差,局部最优解,二次拟合
AB值：
0.279865
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