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激光位移传感器在晶圆检测中的应用研究
文献摘要：
由于极高的光学分辨要求,导致焦深日益减小,为适应十分有限的焦深,探索一种可以应用于晶圆检测设备中的调焦技术.主要研究内容包括激光位移传感器检焦测量原理、调焦工作原理、调焦流程以及利用最小二乘法拟合晶圆面型.采用Tenengrad梯度函数和Sobel算子提取像素点水平方向和垂直方向的梯度值,以此来评判图像清晰度,验证激光位移传感器在晶圆检测工作中调焦得可行性,从而提供一种更加通用便捷的工程解决方案.
文献关键词：
调焦;曲面拟合;晶圆检测;激光位移传感器
中图分类号：
作者姓名：
熊显名;王秀秀;任星晓
作者机构：
桂林电子科技大学电子工程与自动化学院,广西桂林541004
文献出处：
引用格式：
[1]熊显名;王秀秀;任星晓-.激光位移传感器在晶圆检测中的应用研究)[J].自动化与仪器仪表,2022(08):7-12
A类：
晶圆检测
B类：
激光位移传感器,焦深,检测设备,调焦技,检焦,测量原理,最小二乘法拟合,面型,Tenengrad,梯度函数,Sobel,像素点,垂直方向,图像清晰度,检测工作,曲面拟合
AB值：
0.261164
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