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测试探针性能检测系统的设计与实现
文献摘要：
为满足国内厂商对集成电路测试中测试探针出厂检测的要求,分析了测试探针需要检测的功能、参数和测试方法,利用压力传感器、温度传感器、激光位移传感器、电阻测量计、运动模块执行机构以及控制与数据采集模块,设计了一种以Lab-VIEW为核心的多功能测试探针性能检测系统,实现了对测试探针性能的自动测试.实验结果表明,所设计系统能够对测试探针进行有效的性能检测,测量误差小于士4％,测试时间比传统人工测量提高了 5倍左右,检测系统性能稳定,显著提升了测试效率和测试精度.
文献关键词：
测试探针;性能参数;LabVIEW;测量测试
中图分类号：
作者姓名：
汪俞成;肖金球;李盈;焦文开;谢翔
作者机构：
苏州科技大学物理科学与技术学院 苏州215009;苏州市智能测控工程技术研究中心 苏州215009
文献出处：
引用格式：
[1]汪俞成;肖金球;李盈;焦文开;谢翔-.测试探针性能检测系统的设计与实现)[J].国外电子测量技术,2022(10):97-103
A类：
B类：
测试探针,性能检测,厂商,集成电路测试,出厂检测,压力传感器,温度传感器,激光位移传感器,电阻测量,测量计,执行机构,数据采集模块,功能测试,自动测试,设计系统,测量误差,测试时间,传统人工,人工测量,系统性能,测试效率,测试精度,性能参数,LabVIEW,测量测试
AB值：
0.348414
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