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氟化钙抛光加工工艺及进展
文献摘要：
氟化钙(Calcium fluoride,CaF2)晶体是一种非常重要的光学晶体,因其具备高透射率和良好的长期辐射稳定性被广泛应用于光学仪器中.随着光刻技术向较短波长的发展,CaF2更是成为极紫外光刻物镜的首选材料.CaF2是一种典型的脆性材料,断裂韧性很低,一般通过抛光加工制成CaF2光学表面,所以其抛光加工技术与工艺尤其重要.总结了CaF2的主要加工方法、工艺及研究成果,介绍了其粗加工阶段所涉及的超精密切削和固结磨料研磨方法;重点从超精密抛光这一方面,较全面地概述了浮法抛光、化学机械抛光、固结磨料抛光、磁流变抛光、振动辅助固结磨料抛光和离子束抛光等抛光方法的原理及进展,并对以上加工方法进行对比;最后,对CaF2抛光加工技术的未来发展方向做了初步展望.希望能为CaF2加工领域后续深入研究提供参考.
文献关键词：
氟化钙(CaF2);脆性材料;光学元件加工;超精密加工;抛光技术
中图分类号：
作者姓名：
彭云峰;杨磊;刘晓阳
作者机构：
厦门大学航空航天学院,厦门 361005;厦门大学深圳研究院,深圳 518000;北京首量科技股份有限公司,北京 101111
文献出处：
引用格式：
[1]彭云峰;杨磊;刘晓阳-.氟化钙抛光加工工艺及进展)[J].航空制造技术,2022(13):14-25
A类：
B类：
氟化钙,加工工艺,Calcium,fluoride,CaF2,光学晶体,高透射率,光学仪器,光刻技术,短波,极紫外光刻,物镜,选材,脆性材料,断裂韧性,加工技术,加工方法,粗加工,超精密切削,研磨方法,超精密抛光,浮法,化学机械抛光,固结磨料抛光,磁流变抛光,振动辅助,离子束抛光,抛光方法,光学元件加工,超精密加工,抛光技术
AB值：
0.320595
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