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化学气相沉积(CVD)金刚石研究现状和发展趋势
文献摘要:
化学气相沉积(CVD)技术的发展使得金刚石优异的综合性能得以充分发挥,在诸多领域获得应用,并有可能实现跨越式的发展.色心使得金刚石量子加速器初步显示了巨大可行性,包括紫外激光写入窗口等诸多应用场景将金刚石的光、电、热和力学综合优势发挥到了极致,超宽禁带金刚石半导体应用将很快实现,金刚石的散热应用也在不断拓展.本文在总结CVD金刚石的制备方法和性能特点的基础上,根据金刚石的本征特点和应用领域,将其分为量子级、电子级、光学级、热学级和力学级五类,对各类金刚石的研究和应用状况进行了详细阐述,进一步明晰CVD金刚石目前的发展状态,对研判其未来发展趋势有重要意义.
文献关键词:
化学气相沉积;金刚石;色心;超宽禁带;散热;超硬材料
中图分类号:
作者姓名:
李成明;任飞桐;邵思武;牟恋希;张钦睿;何健;郑宇亭;刘金龙;魏俊俊;陈良贤;吕反修
作者机构:
北京科技大学新材料技术研究院,新金属材料国家重点实验室,北京 100083
文献出处:
引用格式:
[1]李成明;任飞桐;邵思武;牟恋希;张钦睿;何健;郑宇亭;刘金龙;魏俊俊;陈良贤;吕反修-.化学气相沉积(CVD)金刚石研究现状和发展趋势)[J].人工晶体学报,2022(05):759-780
A类:
金刚石半导体
B类:
化学气相沉积,CVD,跨越式,色心,量子加速,加速器,紫外激光,写入,多应用场景,力学综合,综合优势,极致,超宽禁带,很快,散热,制备方法,性能特点,电子级,学级,热学,五类,研究和应用,应用状况,发展状态,超硬材料
AB值:
0.289541
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