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基于贝叶斯参数优化的无模型自适应硅单晶直径控制
文献摘要：
直拉硅单晶的生长过程涉及多场多相耦合与复杂的物理化学变化,其中工艺参数的波动是导致晶体直径不均匀的重要原因,如何实现工艺参数的控制以获得理想的、均匀的晶体直径具有重要的研究意义.本文分析现有控制方法存在不稳定以及控制效果不佳的问题后,提出基于贝叶斯参数优化的无模型自适应控制模型来控制硅单晶生长过程中的晶体直径.首先以坩埚上升速度与加热器的功率作为控制输入参数,晶体直径作为输出,搭建无模型自适应控制模型,并分析算法的稳定性.其次将控制模型进行仿真实验,发现硅单晶直径控制模型中不同的超参数设定会影响控制过程的迭代次数以及控制效果.最后,利用贝叶斯优化超参数的取值范围,并进行最终的仿真实验,结果表明,经贝叶斯参数优化后的控制模型计算快、迭代次数少,输出的晶体直径稳定,同时将生长工艺参数控制在实际生产要求范围内.因此,基于贝叶斯参数优化的无模型自适应控制实现了硅单晶直径均匀稳定的有效控制,具有结合工程背景的实际应用前景.
文献关键词：
硅单晶;直径控制;无模型自适应控制;超参数;贝叶斯参数优化
中图分类号：
作者姓名：
林光伟;王珊;张西亚;彭鑫;高俊伟;高德东
作者机构：
青海大学机械工程学院,西宁 810016;阳光能源(青海)有限公司,西宁 810000
文献出处：
引用格式：
[1]林光伟;王珊;张西亚;彭鑫;高俊伟;高德东-.基于贝叶斯参数优化的无模型自适应硅单晶直径控制)[J].人工晶体学报,2022(02):229-241,247
A类：
贝叶斯参数优化,直拉硅单晶
B类：
直径控制,生长过程,多场多相,多相耦合,物理化学,化学变化,获得理想,研究意义,无模型自适应控制,控制模型,单晶生长,先以,坩埚,上升速度,加热器,控制输入,输入参数,超参数,参数设定,定会,控制过程,迭代次数,贝叶斯优化,参数的取值范围,生长工艺,参数控制,工程背景
AB值：
0.195656
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