典型文献
大面阵短波碲镉汞红外焦平面器件研究
文献摘要：
随着红外焦平面技术的发展,大面阵红外焦平面器件在遥感、气象、资源普查和高分辨对地观测卫星上得到了广泛应用.因此,基于第三代红外焦平面技术的超大规模焦平面器件成为国内外研究热点.文中介绍了昆明物理研究所采用n-on-p技术路线成功研制的短波(Short Wave,SW)2 k×2 k(18μm,像元中心距)碲镉汞红外焦平面器件.短波2k×2 k碲镉汞红外焦平面器件突破了大尺寸碲锌镉(CdZnTe)衬底制备和大面积液相外延薄膜材料生长技术,衬底尺寸由Φ75 mm增加到Φ90 mm,获得了高度均匀的大面积碲镉汞(HgCdTe)薄膜材料.通过大面阵器件工艺、大面阵倒装互连等技术攻关,最终获得了有效像元率大于99.9％、平均峰值探测率(D*)大于4×1012(cm·Hz1/2)/W、暗电流密度在1 nA/cm2的高性能短波2 k×2 k(18 μm)碲镉汞红外焦平面器件.
文献关键词：
短波;大面阵;2k;红外焦平面器件
中图分类号：
作者姓名：
龚晓丹;李红福;杨超伟;袁绶章;封远庆;黄元晋;胡旭;李立华
作者机构：
昆明物理研究所,云南昆明650223
文献出处：
引用格式：
[1]龚晓丹;李红福;杨超伟;袁绶章;封远庆;黄元晋;胡旭;李立华-.大面阵短波碲镉汞红外焦平面器件研究)[J].红外与激光工程,2022(09):141-147
A类：
B类：
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AB值：
0.253045
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