典型文献
2048×2048 HgCdTe红外焦平面杜瓦冷头热应力有限元分析
文献摘要：
利用有限元方法对2048×2048(15 μm)红外焦平面杜瓦冷头的原始结构以及加入的平衡层结构进行了分析.在陶瓷基板下方增加膨胀系数较小的平衡层,对探测器芯片变形及热应力有一定的缓解作用.通过增大AlN平衡层上表面的直径,减小了芯片中心以外的翘曲范围,缓解了应力过于集中的问题.当直径超过芯片对角长度时,最大热应力骤减,最终趋于稳定;芯片变形量随之迅速减小.在直径为36 mm时,达到最小值(6.86 μm);随后缓慢增加并趋于稳定.当AlN平衡层的直径超过芯片对角长度后,AlN平衡层的厚度对芯片变形的影响开始减小.通过加入AlN平衡层能够有效改善大面阵焦平面探测器芯片的变形及热应力,同时通过调节AlN平衡层的结构,可进一步优化探测器杜瓦组件的可靠性.
文献关键词：
红外探测器;杜瓦封装;有限元分析;热应力
中图分类号：
作者姓名：
熊雄;胡明灯;吴建乐;段煜;周勇强;杜宇;毛剑宏
作者机构：
浙江珏芯微电子有限公司,浙江丽水323000
文献出处：
引用格式：
[1]熊雄;胡明灯;吴建乐;段煜;周勇强;杜宇;毛剑宏-.2048×2048 HgCdTe红外焦平面杜瓦冷头热应力有限元分析)[J].红外,2022(02):22-27,39
A类：
杜瓦冷头
B类：
HgCdTe,红外焦平面,热应力,有限元方法,陶瓷基板,膨胀系数,缓解作用,AlN,翘曲,对角,骤减,变形量,最小值,大面阵,焦平面探测器,杜瓦组件,红外探测器,杜瓦封装
AB值：
0.241331
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