典型文献
基于刀口仪轴向移动的自动化非球面检测技术
文献摘要：
为了解决自动化刀口仪面临的如何搜索并收敛到特征点的核心问题,提出一种基于刀口仪轴向移动的非球面检测技术,实现了在搜索过程中提取环带误差信息,一方面在搜索过程中动态获得波前特性,另一方面可以加速收敛找到特征点.利用所提方法对不同参数的镜面环带误差进行检测,所得带差位置与干涉仪检测结果的相对误差小于3.3％,验证了所提方法的有效性.所提方法为刀口仪的自动化测量提供了一个便捷的解决方案,为进一步提高非球面加工效率提供了技术支撑.
文献关键词：
测量;刀口仪;自动化;光学检测;光学仪器
中图分类号：
作者姓名：
华翔;焦兆阳;朱健强
作者机构：
中国科学院上海光学精密机械研究所高功率激光物理重点实验室,上海201800;中国科学院中国工程物理研究院高功率激光物理联合实验室,上海201800;中国科学院大学,北京100049
文献出处：
引用格式：
[1]华翔;焦兆阳;朱健强-.基于刀口仪轴向移动的自动化非球面检测技术)[J].光学学报,2022(23):79-86
A类：
刀口仪
B类：
非球面检测,特征点,取环,环带,同参数,镜面,干涉仪,自动化测量,加工效率,光学检测,光学仪器
AB值：
0.220778
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