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双腔比对折射率法测定气体压力
文献摘要：
搭建了基于气体折射率方法的气体压力测量装置,测量区间为10—100 kPa,采用双腔比对方法对装置进行了检验.通过将两个真空腔体分别控温,并且真空连通,保证了两个腔内气体压力相同.以高纯氮气(6N)为气体介质,在不同气体压力条件下,得到了双腔对比测量的初步结果.结果显示,基于光学方法的气体折射率压力计重复度高于30×10–6,显著好于商用电容式薄膜压力计,说明该方法具有很大潜力.本文还分析了测量中的误差来源,并计划通过改进系统设计以提高测量精度.
文献关键词：
计量学;气体压力;气体折射率;双腔比对
中图分类号：
作者姓名：
刘洋洋;胡常乐;孙羽;王进;胡水明
作者机构：
中国科学技术大学化学物理系, 合肥 230026;中国科学技术大学, 中国科学院量子信息与量子科技创新研究院, 合肥 230026
文献出处：
引用格式：
[1]刘洋洋;胡常乐;孙羽;王进;胡水明-.双腔比对折射率法测定气体压力)[J].物理学报,2022(08):55-60
A类：
双腔比对,压力测量装置
B类：
对折,气体折射率,气体压力测量,kPa,比对方法,空腔,腔体,控温,腔内气体,高纯,氮气,6N,气体介质,不同气体,对比测量,压力计,计重,商用,电容式,误差来源,改进系统,测量精度
AB值：
0.348105
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