典型文献
MEMS电容薄膜真空计关键技术研究
文献摘要：
为了实现真空测量仪器的小型化,开展了MEMS电容薄膜真空计的研制.首先研制了差压式结构,以验证感压薄膜的性能,之后研制了绝压式结构,通过不断优化迭代,最后完成绝压式MEMS电容薄膜真空计样机研制.性能测试结果表明,真空计的测量范围为0.2～103 Pa,分辨率0.1 Pa,全量程准确度0.1％FS.对研制过程中解决的关键技术,如"平整大宽厚比感压薄膜制备""非蒸散型吸气剂薄膜制备""传感器封装"等进行了介绍,并对未来工作进行了展望.
文献关键词：
MEMS技术;电容薄膜真空计;关键技术
中图分类号：
作者姓名：
李刚;韩晓东;周超;李得天
作者机构：
兰州空间技术物理研究所 真空技术与物理重点实验室,兰州 730000;厦门大学 航空航天学院,福建 厦门 361000
文献出处：
引用格式：
[1]李刚;韩晓东;周超;李得天-.MEMS电容薄膜真空计关键技术研究)[J].真空与低温,2022(04):403-408
A类：
电容薄膜真空计,非蒸散型吸气剂薄膜
B类：
MEMS,关键技术研究,真空测量,测量仪器,小型化,先研,差压式,式结构,优化迭代,样机研制,测量范围,Pa,量程,FS,研制过程,大宽厚比,薄膜制备,传感器封装,未来工作
AB值：
0.274169
相似文献
机标中图分类号，由域田数据科技根据网络公开资料自动分析生成，仅供学习研究参考。
