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Al2O3/SiOxNy/SiNx叠层钝化膜对PERC太阳电池性能及LID效应的研究
文献摘要：
由于等离子体增强化学的气相沉积(PECVD)法制备的SiOxNy薄膜中含有大量H原子,因而具有优异的表面钝化性能.通过在PERC太阳电池的Al2O3/SiNx背钝化叠层中间插入一层SiOxNy薄膜,形成Al2O3/SiOxNy/SiNx结构,可避免SiNx所带的固定正电荷对Al2O3负电荷场钝化效应的负面影响.试验结果表明,硅片少子寿命从原来的130μs提高至162μs,电池转换效率增加0.09％.同时,基于Al2O3/SiOxNy/SiNx背钝化的PERC太阳电池的LID也得到了改善,由对照组的1.83％下降到实验组的1.09％.
文献关键词：
PERC太阳电池;背钝化;SiOxNy;LID;叠层膜;场钝化
中图分类号：
作者姓名：
凡金星;陈达明;许林云;杨言华;周宏平
作者机构：
南京林业大学机械电子工程学院,南京 210037;天合光能股份有限公司光伏科学与技术国家重点实验室,常州 213031
文献出处：
引用格式：
[1]凡金星;陈达明;许林云;杨言华;周宏平-.Al2O3/SiOxNy/SiNx叠层钝化膜对PERC太阳电池性能及LID效应的研究)[J].太阳能学报,2022(07):122-127
A类：
B类：
Al2O3,SiOxNy,SiNx,钝化膜,PERC,太阳电池,电池性能,LID,气相沉积,PECVD,表面钝化,钝化性能,背钝化,正电荷,电荷对,负电荷,场钝化,钝化效应,硅片,少子寿命,转换效率,叠层膜
AB值：
0.31164
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