典型文献
面向TOPCon晶体硅太阳电池产业应用的管式PECVD装备及其配套技术分析
文献摘要：
隧穿氧化硅钝化接触(TOPCon)晶体硅太阳电池(下文简称为"TOPCon太阳电池")被广泛认为是产业用下一代主流高效晶体硅太阳电池技术,目前仍处于产业化应用开发阶段,在技术路线选择、核心材料制备等方面仍存在不少难题有待解决,尚未实现大规模量产推广.首先介绍了TOPCon太阳电池技术的研究进展,并分析了现有产业技术的不足,这种不足主要体现在现阶段该产业采用的主流的低压化学气相沉积(LPCVD)技术存在不足;然后详细分析了等离子体增强化学气相沉积(PECVD)技术的优、缺点及产业的应用现状,重点介绍了管式PECVD装备及其配套技术(下文简称为"管式PECVD装备技术")的特点及发展进程,并分析了该装备技术在TOPCon太阳电池量产推广方面的应用潜力.研究结果表明:管式PECVD装备技术在制备低成本、高性能的TOPCon太阳电池用重掺杂多晶硅层和超薄氧化硅层等方面具有综合优势,其在非晶硅层沉积和原位掺杂等关键步骤的实现方面效率更高,可集成超薄氧化硅层的原位制备,又兼具装备价格低、维护简易、可靠性高、占地面积小等优点,因此,管式PECVD装备技术有望成为TOPCon太阳电池生产的一种重要的产业化技术路线.
文献关键词：
光伏发电;晶体硅太阳电池;隧穿氧化硅钝化接触;管式PECVD
中图分类号：
作者姓名：
曾俞衡;陈晖;张文博;程海良;廖明墩;谢利华;李旺鹏;刘景博;张青山;刘伟;王玉明;闫宝杰;叶继春
作者机构：
中国科学院宁波材料技术与工程研究所,宁波 315201;中国科学院大学,北京 100049;苏州拓升智能装备有限公司,苏州 215000;营口金辰机械股份有限公司,营口 115004;营口市科技创新服务中心,营口 115099
文献出处：
引用格式：
[1]曾俞衡;陈晖;张文博;程海良;廖明墩;谢利华;李旺鹏;刘景博;张青山;刘伟;王玉明;闫宝杰;叶继春-.面向TOPCon晶体硅太阳电池产业应用的管式PECVD装备及其配套技术分析)[J].太阳能,2022(11):22-33
A类：
隧穿氧化硅钝化接触
B类：
TOPCon,晶体硅太阳电池,产业应用,管式,PECVD,配套技术,下一代,太阳电池技术,产业化应用,应用开发,开发阶段,技术路线选择,核心材料,材料制备,产业技术,低压化学气相沉积,LPCVD,技术存在,等离子体增强化学气相沉积,装备技术,多晶硅,超薄,综合优势,非晶硅,原位掺杂,关键步骤,原位制备,价格低,可靠性高,占地面积,产业化技术,光伏发电
AB值：
0.214059
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