典型文献
基于大产能的管式PECVD设备推舟机构的结构优化与仿真研究
文献摘要：
对管式PECVD设备推舟机构的现有结构进行优化设计,利用ANSYS软件对优化后的结构进行仿真分析,从而获取大产能条件下各组成部件形变最小时的推舟机构结构.首先,对固定座组件结构进行优化;然后,在固定座组件优化后的基础上,对碳化硅杆结构进行优化;最后,在采用优化后的固定座组件及碳化硅杆结构基础上,通过对光轴直径、碳化硅杆的直径和壁厚进行仿真,得到整个推舟机构最佳的结构参数,可满足管式PECVD设备的大产能需求.
文献关键词：
太阳电池;PECVD设备;推舟机构;结构优化;ANSYS软件;仿真
中图分类号：
作者姓名：
朱辉;成秋云;李晔纯;曾昭贤;龙辉
作者机构：
湖南红太阳光电科技有限公司,长沙 410009;中南大学机电工程学院,长沙 410012
文献出处：
引用格式：
[1]朱辉;成秋云;李晔纯;曾昭贤;龙辉-.基于大产能的管式PECVD设备推舟机构的结构优化与仿真研究)[J].太阳能,2022(04):83-86
A类：
推舟机构
B类：
管式,PECVD,仿真研究,固定座,碳化硅,光轴,壁厚,太阳电池
AB值：
0.157687
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