典型文献
大口径平面镜快速瑞奇-康芒测量法研究
文献摘要：
瑞奇-康芒法是用小口径干涉仪检测大口径平面镜的主要方法之一.通过分析瑞奇-康芒法中球面参考镜半径、平面镜位置和瑞奇角误差对测量精度的影响,给出了3个参数的选择方法.针对瑞奇-康芒法测量时误差分离导致的测量效率低的问题,提出适用于加工过程的快速瑞奇-康芒测量法,仿真模拟该方法下被测平面镜位置、角度等定位误差对测量结果的影响,并设计实验对比验证.该方法与直测法测量间的最大偏差峰-谷值(PV)为0.0151?μm,均方根(RMS)为0.0036?μm,能够有效满足加工过程中面形快速测量需求.
文献关键词：
光学测量;大口径平面镜;快速检测;瑞奇-康芒
中图分类号：
作者姓名：
刘昕;王聪;刘永强;袁阳;陈晓磊;张瑜;韩娟妮;张超凡
作者机构：
西安应用光学研究所 ,陕西 西安 710065
文献出处：
引用格式：
[1]刘昕;王聪;刘永强;袁阳;陈晓磊;张瑜;韩娟妮;张超凡-.大口径平面镜快速瑞奇-康芒测量法研究)[J].应用光学,2022(04):707-713
A类：
B类：
大口径平面镜,测量法,小口径,干涉仪,主要方法,球面,测量精度,选择方法,误差分离,测量效率,加工过程,仿真模拟,定位误差,设计实验,实验对比,对比验证,最大偏差,谷值,PV,RMS,快速测量,光学测量,快速检测
AB值：
0.388047
相似文献
机标中图分类号，由域田数据科技根据网络公开资料自动分析生成，仅供学习研究参考。
