典型文献
微透镜阵列单点金刚石车削补偿技术
文献摘要：
为了提高微透镜阵列单点金刚石车削的加工精度与一致性,提出了加工误差的理论模型,并针对其补偿方法进行了理论分析和实验研究.将微透镜阵列加工等效为自由曲面加工,通过建立单点金刚石慢刀伺服切削模型,计算了理论曲面在每一个切削点处沿切削方向的曲率半径;结合刀具等效倾斜角模型和机床加工时延模型,进一步得到了慢刀伺服切削微透镜阵列误差面形的理论预测值.然后,使用原位测量设备测量处理得到实际加工误差,将面形误差理论值与实际加工误差测量值比较,并将面形误差理论值预补偿到加工程序中.实验结果表明,面形误差理论值与实际加工误差测量值具有一致性,两者偏差在[-0.7μm,0.3μm];补偿加工后微透镜阵列的PV值从5.4μm降低到0.6μm.所提出的微透镜阵列的单点金刚石车削加工与补偿方法能够预测误差面形,显著提升面形精度与一致性.
文献关键词：
超精密加工;微透镜阵列;单点金刚石车削;慢刀伺服;原位测量;加工补偿
中图分类号：
作者姓名：
王之岳;陈灶灶;朱利民;张鑫泉
作者机构：
上海交通大学机械与动力工程学院,上海200240
文献出处：
引用格式：
[1]王之岳;陈灶灶;朱利民;张鑫泉-.微透镜阵列单点金刚石车削补偿技术)[J].光学精密工程,2022(07):813-820
A类：
慢刀伺服
B类：
微透镜阵列,单点金刚石车削,补偿技术,加工精度,加工误差,补偿方法,阵列加工,自由曲面加工,切削,曲率半径,刀具,倾斜角,机床加工,工时,时延模型,阵列误差,理论预测,原位测量,测量设备,理得,实际加工,面形误差,误差理论,理论值,误差测量,测量值,加工程序,补偿加工,工后,PV,车削加工,预测误差,面形精度,超精密加工,加工补偿
AB值：
0.226822
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