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基于显微拉曼的光学元件缺陷检测方法研究
文献摘要：
基于显微拉曼特性以及表面缺陷对散射光的调制作用,提出一种光学元件表面缺陷的检测方法.通过共焦技术限制散射光信号采集范围,并利用拉曼散射光频率特性滤除其他散射光干扰,从而有效放大缺陷的调制影响,进而分析扫描后的光谱峰强成像图变化,间接实现对表面缺陷的表征.实验研究了两种共焦方式下的成像结果,验证了检测方法实现表面缺陷检测的有效性,为检测光学元件表面微小缺陷提供了新的思路.
文献关键词：
表面缺陷检测;光学元件;划痕;显微共焦;拉曼光谱峰强成像
中图分类号：
作者姓名：
戈畅;韩军;吴飞斌
作者机构：
中北大学电气与控制工程学院,太原 030051;中国科学院海西研究院泉州装备制造研究中心,福建泉州 362000
文献出处：
引用格式：
[1]戈畅;韩军;吴飞斌-.基于显微拉曼的光学元件缺陷检测方法研究)[J].激光杂志,2022(08):86-89
A类：
拉曼光谱峰强成像
B类：
光学元件,缺陷检测方法,拉曼特,散射光,光信号,信号采集,拉曼散射,光频,频率特性,滤除,表面缺陷检测,测光,微小缺陷,划痕,显微共焦
AB值：
0.275453
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