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基于涡旋光与平面波干涉的微位移测量
文献摘要：
光学干涉测量技术得益于高灵敏性和高重复性常用于位移等几何量的高精度测量.为了实现纳米级位移精确测量,以涡旋光与平面波干涉模型为基础,建立并验证了花瓣状干涉图旋转角度与位移的线性关系,提出一种微位移测量方法.位移测量模型使用涡旋光束干涉光路,经仿真验证了原理的可行性,并搭建位移实验系统进行测量实验.实验结果表明,当位移量为200.0 nm时,测量结果为196.3 nm,误差为3.7 nm,误差百分比为1.9％,可实现纳米量级的微位移测量.与传统的球面波干涉、共轭涡旋光干涉等位移测量方案相比,该微位移测量方法在测量可靠性和测量精度方面均具有明显的优势.
文献关键词：
干涉测量;涡旋光;微位移;平面波
中图分类号：
作者姓名：
韩世泽;杨栋;胡晓宁;杨忠明;庄新港;刘兆军
作者机构：
山东大学信息科学与工程学院,山东青岛266237;山东大学激光与红外系统集成技术教育部重点实验室,山东青岛266237;中国电子科技集团公司第四十一研究所,山东青岛266555
文献出处：
引用格式：
[1]韩世泽;杨栋;胡晓宁;杨忠明;庄新港;刘兆军-.基于涡旋光与平面波干涉的微位移测量)[J].光学精密工程,2022(17):2058-2066
A类：
B类：
平面波,微位移测量,光学干涉,干涉测量技术,高灵敏,灵敏性,几何量,高精度测量,纳米级,精确测量,花瓣状,干涉图,旋转角度,测量模型,模型使用,涡旋光束,光路,仿真验证,实验系统,测量实验,位移量,球面波,共轭,等位,测量方案,测量可靠性,测量精度
AB值：
0.280934
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