典型文献
基于多波长光学系统结构的透射波前检测
文献摘要:
基于多波长波前检测技术的实际需要,设计了多波长激光干涉仪光学结构.结构基于菲索干涉原理,使用分光棱镜集成5个波长的激光光源.通过笼式系统减小了光学结构各部分的同轴误差,采用消色差镜头作为干涉系统的准直系统和成像系统,缩短了调整准直系统行程的同时,也减小了系统内部光学系统的色差.使用该光学结构对光学系统进行测量,采用转换多项式法计算的Zernike系数-波长曲线符合预测结果.多波长激光干涉仪光学结构提高了多波长透射波前的检测效率,有利于多波长透射波前检测技术的工程化和推广,并为新仪器的开发提供了借鉴.
文献关键词:
透射波前;激光干涉仪;光学系统;Zernike系数
中图分类号:
作者姓名:
朱大勇;张齐元;王芳;朱怀康;贾文昕;韩森
作者机构:
上海理工大学光电信息与计算机工程学院,上海200093;苏州慧利仪器有限责任公司,江苏 苏州215123;苏州科技大学物理科学与技术学院,江苏 苏州215009
文献出处:
引用格式:
[1]朱大勇;张齐元;王芳;朱怀康;贾文昕;韩森-.基于多波长光学系统结构的透射波前检测)[J].激光与红外,2022(07):1064-1072
A类:
透射波前,透射波前检测
B类:
多波长,光学系统,系统结构,长波,激光干涉仪,干涉原理,分光棱镜,激光光源,同轴,轴误差,消色差,镜头,干涉系统,准直系统,成像系统,多项式法,Zernike,检测效率,工程化,新仪器
AB值:
0.255521
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