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中红外4 μm波长下MgF2晶体脊形光波导的制备及特性研究
文献摘要：
为了研究离子与中红外晶体相互作用的机理，探索中红外晶体光波导的制备和性能，采用离子辐照技术结合精密金刚石刀切割，在MgF2晶体材料中制备了深度17.5 μm、宽度14 μm的脊形光波导。采用SRIM软件模拟了C5+离子辐照MgF2晶体的电子能量损伤和核能量损伤的过程，分析了波导的形成机理；模拟了波导的折射率变化，并对波导的近场模式进行了实验测量和理论模拟；采用热退火处理来降低波导的传输损耗，将传输损耗降低为0.4 dB/cm；微拉曼光谱证明离子辐照过程并未对MgF2晶体波导区造成较大的晶格损伤。该工作表明，离子辐照技术结合划片机精密切割是一种十分成熟的脊形波导制备手段，制备的MgF2晶体脊形光波导在中红外集成光学和光通讯领域具有广泛的应用前景。
文献关键词：
中红外;MgF2晶体;光波导;离子辐照
中图分类号：
作者姓名：
李淑慧;宋洪晓;程亚洲
作者机构：
山东大学 物理学院 物理国家级实验教学示范中心（山东大学），山东 济南 250100;中国海洋大学 信息科学与工程学部，山东 青岛 266100
文献出处：
引用格式：
[1]李淑慧;宋洪晓;程亚洲-.中红外4 μm波长下MgF2晶体脊形光波导的制备及特性研究)[J].红外与激光工程,2022(07):
A类：
B类：
中红外,MgF2,光波导,离子辐照,辐照技术,技术结合,金刚石,石刀,刀切,晶体材料,SRIM,软件模拟,C5+,电子能量,能量损伤,核能,形成机理,折射率变化,近场,实验测量,理论模拟,热退火,退火处理,来降,传输损耗,dB,拉曼光谱,照过,晶体波导,晶格,工作表,划片,密切割,脊形波导,集成光学,光通
AB值：
0.370975
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