典型文献
铌酸锂薄膜器件脊形波导和光纤耦合特性研究
文献摘要：
铌酸锂薄膜因其优异光学性能及容易与结构紧凑的光波导等器件相集成等诸多优势,目前已经成为可调谐Fabry-Perot滤波器、电光调制器等器件领域向集成化和微小型化趋势发展的首选光学材料.由于光波导和光纤的尺寸差异而引起了严重的模场失配使得光纤与光波导耦合时存在着较大的插入损耗问题.仿真分析了超高数值孔径光纤和脊形波导直接耦合时,其光场模式分布、折射率、耦合效率和耦合损耗等关键性能的相互影响.结果表明当刻蚀深度和宽度分别为300 nm和0.8μm时,铌酸锂脊型波导与单模光纤(UHNA7)的耦合效率可达33.8％,而耦合损耗为4.71 dB.仿真比较了上包层材料替换为二氧化硅和氮化硅材料时,脊型波导和单模光纤的耦合效率显著增加到63.4％而耦合损耗被降低到1.98 dB.
文献关键词：
铌酸锂薄膜;脊形波导;光纤耦合;耦合效率;Fabry-Perot滤波器
中图分类号：
作者姓名：
王珂珂;丹丽智;沈志强;靳辰飞;张思琦
作者机构：
哈尔滨工业大学物理学院,黑龙江哈尔滨150001
文献出处：
引用格式：
[1]王珂珂;丹丽智;沈志强;靳辰飞;张思琦-.铌酸锂薄膜器件脊形波导和光纤耦合特性研究)[J].光学与光电技术,2022(05):70-76
A类：
脊型波导,UHNA7
B类：
铌酸锂薄膜,薄膜器件,脊形波导,光纤耦合,耦合特性,光学性能,结构紧凑,光波导,可调谐,Fabry,Perot,滤波器,电光调制器,集成化,微小型化,趋势发展,光学材料,模场,失配,波导耦合,插入损耗,损耗问题,数值孔径,直接耦合,光场,折射率,耦合效率,关键性能,刻蚀深度,单模光纤,dB,仿真比较,包层,二氧化硅,氮化硅,硅材料
AB值：
0.34294
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