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高折射率镀膜聚合物波导传感器的制备
文献摘要：
为了提高利用倏逝波传感的光纤传感器的灵敏度问题,仿真并验证了一种基于高折射率镀膜的光纤传感器.首先两根光纤之间利用激光诱导波导自行成技术形成聚合物波导,并在波导表面镀上一层高折射率Ta2O5薄膜以增强波导表面倏逝波强度,从而增加传感器灵敏度.根据聚合物波导制备结果,使用COMSOL Multiphysics?软件对Ta2O5的厚度进行优化和仿真,并根据此仿真结果选取70,100和150 nm 3种厚度制备高折射率镀膜聚合物波导传感器.光谱测量结果表明,Ta2O5膜在100 nm厚度下,该传感器对罗丹明B水溶液可获得吸收光谱1×10?8 g/mL的检测极限.该传感器具有成本低、体积小、制作简单、灵敏度高的优点,在各个领域拥有广阔的应用前景.
文献关键词：
Ta2O5镀膜;COMSOL Multiphysics®;聚合物光波导;倏逝波传感
中图分类号：
作者姓名：
谭冰;蔡斌
作者机构：
上海理工大学 光电信息与计算机工程学院,上海 200093
文献出处：
引用格式：
[1]谭冰;蔡斌-.高折射率镀膜聚合物波导传感器的制备)[J].光学仪器,2022(01):87-94
A类：
B类：
高折射率,镀膜,聚合物波导,高利,倏逝波传感,光纤传感器,两根,激光诱导,导波,镀上,层高,Ta2O5,传感器灵敏度,COMSOL,Multiphysics,光谱测量,罗丹明,水溶液,吸收光谱,检测极限,体积小,灵敏度高,聚合物光波导
AB值：
0.244755
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