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超短脉冲激光加工在微电/光互连领域的应用研究进展
文献摘要：
超短脉冲激光凭借其脉宽窄、峰值功率高的特点,可以实现高精度材料生长、改性和去除等形式的加工,具有良好的材料适应性和工艺兼容性,在微电/光互连领域取得了开拓性应用进展,已成为近年来先进制造的新兴关键技术.本文简要介绍超短脉冲激光实现微光电子器件制造的基本机制,包括多光子还原、表面等离子体共振和双光子聚合等,重点阐述超短脉冲激光加工在微光/电互连领域的应用研究进展,并对超短脉冲激光加工在该领域的发展方向进行总结和展望.
文献关键词：
激光技术;超短脉冲激光;多光子还原;表面等离子体共振;双光子聚合;光波导
中图分类号：
作者姓名：
孙小燕;梁昶;张伟;孔德键;冯玉婷;胡友旺;段吉安
作者机构：
中南大学机电工程学院,湖南长沙410083;高性能复杂制造国家重点实验室,湖南长沙410083
文献出处：
引用格式：
[1]孙小燕;梁昶;张伟;孔德键;冯玉婷;胡友旺;段吉安-.超短脉冲激光加工在微电/光互连领域的应用研究进展)[J].中国激光,2022(10):119-142
A类：
多光子还原
B类：
超短脉冲激光,激光加工,光互连,脉宽,宽窄,峰值功率,材料生长,工艺兼容性,开拓性,先进制造,微光,光电子器件,基本机制,表面等离子体共振,双光子聚合,激光技术,光波导
AB值：
0.172122
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