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电容薄膜真空计测量误差修正方法研究
文献摘要：
电容薄膜真空计是利用变极距平行平板电容器间接测量压力的仪器,未经过修正的真空计存在较大的测量误差.对电容薄膜真空计进行了校准试验,研究了测量误差与校准曲线的关系.提出了一种修正电容薄膜真空计测量误差的方法,并与仪器标定通用的修正因子法进行了对比分析.结果表明,该方法对误差曲线的修正作用优于单一修正因子法,能在全量程范围内起修正作用.研究结果为提高电容薄膜真空计的测量精度奠定了技术基础.
文献关键词：
电容薄膜真空计;测量误差;校准;误差修正
中图分类号：
作者姓名：
冉欣;冯焱;成永军;孙雯君;裴晓强;赵澜;吴成耀;郭朝帽;宋伊;邱云涛
作者机构：
兰州空间技术物理研究所 真空技术与物理重点实验室,兰州 730000
文献出处：
引用格式：
[1]冉欣;冯焱;成永军;孙雯君;裴晓强;赵澜;吴成耀;郭朝帽;宋伊;邱云涛-.电容薄膜真空计测量误差修正方法研究)[J].真空与低温,2022(04):445-452
A类：
电容薄膜真空计
B类：
计测,测量误差,误差修正,修正方法,变极距,距平,电容器,间接测量,校准曲线,正电,仪器标定,修正因子,修正作用,量程,测量精度,技术基础
AB值：
0.221815
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