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等光程干涉仪中参考镜楔角最优补偿方式研究
文献摘要：
在测量多表面平行样品时,多面干涉会影响测量结果.为了能改善多面干涉问题,介绍了等光程干涉仪,并研究了参考镜楔角的最佳补偿方式.在等光程干涉仪中,由于参考镜和分光镜的楔角和倾角的存在,测量结果中会带有回程误差.根据参考镜楔角的不同情况采用了不同的补偿,理论分析并确定了各种补偿的放置方式和补偿量,同时研究了倾角和楔角的大小对于要被遮拦光束高度和像方数值孔径NA的影响.再利用Zemax进行不同补偿方式下的干涉仪仿真,并根据仿真得到的干涉图PV值分析回程误差的大小.分析表明:选用最佳补偿方式,参考镜楔角为1′,回程误差优于0.003个波长.
文献关键词：
光学测量;等光程;参考镜楔角;回程误差
中图分类号：
作者姓名：
朱怀康;张齐元;韩森
作者机构：
上海理工大学 光电信息与计算机工程学院,上海 200093;苏州慧利仪器有限责任公司,江苏 苏州 215123
文献出处：
引用格式：
[1]朱怀康;张齐元;韩森-.等光程干涉仪中参考镜楔角最优补偿方式研究)[J].应用光学,2022(05):950-958
A类：
等光程,参考镜楔角
B类：
干涉仪,补偿方式,方式研究,平行样,多面,分光镜,回程误差,放置方式,角的大小,遮拦,光束,数值孔径,NA,Zemax,真得,干涉图,PV,光学测量
AB值：
0.232171
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