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基于光谱标定的光频扫描干涉绝对测距方法
文献摘要：
光频扫描干涉(FSI)绝对测距技术具有精度高、灵敏度高等优点,受到了大型装备制造领域的广泛关注.为获得更高的测距精度,FSI系统中往往需要通过构建光纤辅助干涉仪以实现对光频变化的精密监测.然而,受环境因素以及色散效应的影响,光纤辅助干涉仪的光程难以在测量过程中维持稳定,导致测量精度严重下降.针对这一问题,提出了一种基于光谱标定的FSI绝对测距方法,采用氰化氢(HCN)气体的吸收光谱特征为FSI系统辅助干涉仪光程的在位快速标定提供稳定、精确的光频参考.提出了一种色散失配误差的快速补偿方法以消除光纤辅助干涉仪引入的色散失配误差对测量结果的影响.为验证上述方法的有效性,在20 m的距离上与商用干涉仪进行精度对比实验.实验结果表明,在测量范围内该系统的最大测距偏差小于50 μm,测量重复性优于±4 μm.
文献关键词：
测量;光频扫描干涉;绝对距离测量;吸收光谱;色散效应
中图分类号：
作者姓名：
尚岳;吴腾飞;林嘉睿;杨凌辉;周强;邾继贵
作者机构：
天津大学精密测试技术及仪器国家重点实验室,天津300072
文献出处：
引用格式：
[1]尚岳;吴腾飞;林嘉睿;杨凌辉;周强;邾继贵-.基于光谱标定的光频扫描干涉绝对测距方法)[J].光学学报,2022(12):158-168
A类：
光频扫描干涉
B类：
光谱标定,绝对测距,FSI,灵敏度高,大型装备,装备制造,制造领域,测距精度,光纤,干涉仪,频变,色散效应,光程,测量精度,氰化氢,HCN,吸收光谱,光谱特征,在位,快速标定,散失,失配误差,补偿方法,商用,精度对比,测量范围,测量重复性,绝对距离测量
AB值：
0.31698
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