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典型文献
自由曲面干涉检测中的自适应循环补偿结构
文献摘要:
为缓解基于可变形镜(DM)的自适应自由曲面干涉仪存在的固有矛盾——不能同时兼顾大动态像差补偿与DM形变监测范围,前期提出了循环利用DM形变量去产生大畸变波前的自适应环形补偿器(ARCC),并得到了初步验证.为了推广其在自由曲面自适应检测中的应用,并结合校正光学系统的自由曲面多为低阶像差面的现实问题,对ARCC的低阶像差补偿特性做出了必要验证和研究.首先,通过Zemax建模对比了ARCC和传统单次往返补偿器(TSRC)对于像散、彗差和球差的补偿能力,得出ARCC补偿像散和彗差的能力近似为TSRC的2倍,补偿球差的能力也要显著大于TSRC,验证了ARCC的低阶像差补偿优势;其次,研究了ARCC的低阶像差类型补偿规律,得出ARCC结构中DM上的像差类型与补偿给被测面的像差类型是"一对多"或"多对一"的关系.结果证明:在实际中分别使用ARCC和TSRC对4块低阶像差自由曲面进行补偿验证,同样的DM形变量下,与传统补偿结构相比ARCC展现出更加出色的低阶像差补偿能力.
文献关键词:
测量;像差补偿;自适应循环补偿结构;自适应干涉仪
作者姓名:
刘仁虎;吴金灵;曹加全;吴升阳;周胜;俞本立;张磊
作者机构:
安徽大学信息材料与智能感知安徽省实验室,安徽合肥230601;安徽大学光电信息获取与控制教育部重点实验室,安徽合肥230601
文献出处:
引用格式:
[1]刘仁虎;吴金灵;曹加全;吴升阳;周胜;俞本立;张磊-.自由曲面干涉检测中的自适应循环补偿结构)[J].红外与激光工程,2022(09):131-140
A类:
自适应循环补偿结构,像差补偿,ARCC,自适应干涉仪
B类:
自由曲面,干涉检测,可变形,变形镜,DM,大动态,形变监测,监测范围,循环利用,形变量,畸变,补偿器,曲面自适应,自适应检测,合校,正光,光学系统,低阶,Zemax,往返,TSRC,像散,球差,补偿能力,多对一,加出,出色
AB值:
0.243079
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