典型文献
大口径、高精度二维快速控制平面反射镜系统设计
文献摘要：
为解决光电跟踪仪跟踪精度测量过程中光束大范围指向的模拟问题,设计了一种大口径、高精度二维快速控制反射镜(fast?steering?mirror,?FSM).采用微晶材料设计了长、短轴分别为230?mm和160?mm的椭圆形平面反射镜,面形精度优于λ/30.采用音圈电机驱动,通过柔性支撑铰链设计及DSP嵌入式控制系统,运动行程达到±30?mrad,运动控制精度达到5?μrad,运动控制线性度优于±0.20％,角分辨率优于1?μrad.通过软件控制,实现对入射光束圆形轨迹运动、直线轨迹运动、随机运动等形式的运动模拟.最后,对设计指标进行实际测试,可以满足跟踪精度光束动态模拟的测试需求.
文献关键词：
跟踪精度;二维快速控制反射镜;音圈电机;重复定位精度
中图分类号：
作者姓名：
康登魁;姜昌录;刘力双;赵俊成;俞兵;陈青山;王生云;王楠茜;陈洁婧;张云龙;王雷
作者机构：
西安应用光学研究所,陕西 西安 710065;北京信息科技大学 仪器科学与光电工程学院,北京 100192
文献出处：
引用格式：
[1]康登魁;姜昌录;刘力双;赵俊成;俞兵;陈青山;王生云;王楠茜;陈洁婧;张云龙;王雷-.大口径、高精度二维快速控制平面反射镜系统设计)[J].应用光学,2022(04):661-668
A类：
二维快速控制反射镜
B类：
大口径,控制平面,光电跟踪,跟踪精度,精度测量,光束,模拟问题,fast,steering,mirror,FSM,微晶材料,材料设计,椭圆形,面形精度,音圈电机,电机驱动,过柔,柔性支撑,铰链,DSP,嵌入式控制系统,运动行程,mrad,运动控制,控制精度,控制线,线性度,角分辨率,软件控制,入射光,随机运动,运动模拟,设计指标,实际测试,足跟,动态模拟,测试需求,重复定位精度
AB值：
0.490714
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