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超大口径平面反射镜的光学检测
文献摘要：
在简要总结了各种检测大口径反射镜难点的基础上，为了实现30 m望远镜（TMT）超大口径第三反射镜的高精度检测，提出了一种融合五棱镜扫描技术和子孔径拼接测试技术的新方法。大口径反射镜分阶段依次进行了五棱镜扫描测试和子孔径拼接检测，对该技术的基本原理和基础理论进行了分析和研究，制定了检测30 m望远镜第三反射镜（口径为3.5 m×2.5 m）的方案，对其测试流程、五棱镜设计、五棱镜扫描像差拟合、拼接最优化算法等进行了详细分析，并对30 m望远镜第三反射镜的原理镜进行了实验验证，其最终拼接检测面形的均方根值（RMS）和斜率均方根值（slopeRMS）分别为28.676 nm和0.97 μrad。
文献关键词：
光学检测;超大口径平面反射镜;30m望远镜;子孔径拼接干涉检测;五棱镜扫描
中图分类号：
作者姓名：
王孝坤;戚二辉;胡海翔;苏航;李凌众;王晶;罗霄;张学军
作者机构：
中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 中国科学院光学系统先进制造技术重点实验室，吉林 长春 130033
文献出处：
引用格式：
[1]王孝坤;戚二辉;胡海翔;苏航;李凌众;王晶;罗霄;张学军-.超大口径平面反射镜的光学检测)[J].红外与激光工程,2022(01):
A类：
超大口径平面反射镜,五棱镜扫描,子孔径拼接检测,slopeRMS,子孔径拼接干涉检测
B类：
光学检测,望远镜,TMT,三反,高精度检测,扫描技术,测试技术,分阶段,分析和研究,测试流程,像差,最优化算法,均方根值,rad,30m
AB值：
0.130216
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