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MEMS电容式加速度计的四拱梁悬挂设计与参数优化
文献摘要：
微机械结构的设计是MEMS电容式加速度计研究的重要内容.本文设计了一款四拱梁悬挂的MEMS电容式加速度计结构,建立了四拱梁悬挂结构的力学模型,对拱梁的结构参数进行了优化分析并获得了最优悬挂参数,接着利用COMSOL软件对微机械结构的自振特性进行了分析,并研究了静电对微结构自振频率的影响.研究表明,设计的四拱梁加速度计具有结构稳定、敏感方向位移灵敏度好、自振频率可调等特点,可为高性能的MEMS电容式加速度计的研制提供理论参考.
文献关键词：
微结构;微机电系统;动力学;电容式加速度计
中图分类号：
作者姓名：
张猛;施展;张华杰;赵梦石;郭一凡;宦荣华
作者机构：
浙江大学应用力学研究所,杭州 310027;浙江省软体机器人与智能器件重点实验室,杭州 310027;国网浙江省电力有限公司嘉兴供电公司,浙江嘉兴 314000
文献出处：
引用格式：
[1]张猛;施展;张华杰;赵梦石;郭一凡;宦荣华-.MEMS电容式加速度计的四拱梁悬挂设计与参数优化)[J].力学与实践,2022(06):1351-1356
A类：
电容式加速度计
B类：
MEMS,微机械,机械结构,悬挂结构,优化分析,悬挂参数,COMSOL,自振特性,自振频率,结构稳定,移灵,频率可调,微机电系统
AB值：
0.196055
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