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粘性基底上溅射薄膜褶皱的边界效应研究
文献摘要：
复杂的表面微结构在自然界中普遍存在,它们赋予生物组织优异的物化功能.受此启发,各类仿生结构在工程领域(如微机电系统、能源材料、生物传感等)得到了广泛应用.论文利用磁控溅射技术在粘性的胶体基底上沉积金属铁薄膜,研究了薄膜中自发形成的褶皱结构,重点分析了约束边界和膜厚梯度边界对褶皱形貌的调控效应.实验发现,随着膜厚的增加,薄膜表面由网状折叠逐渐演变为迷宫褶皱,褶皱波长先是略微下降,随后保持不变.约束边界附近,褶皱波长连续变化,表现为多级褶皱的特征.膜厚梯度区域,褶皱具有明显取向,而波长基本不变.基于应力理论,对粘性基底上薄膜褶皱的形貌特征、演化规律和物理机制进行了深入分析.该研究将有助于加深对粘性基底上金属薄膜的溅射效应的理解,并有望通过设计图案化结构实现可控的表面微结构.
文献关键词：
粘性基底;薄膜;褶皱;边界效应;溅射
中图分类号：
作者姓名：
余森江;郭永杰;赵晓宇;卢晨曦;李领伟
作者机构：
杭州电子科技大学材料与环境工程学院,浙江省新型传感材料重点实验室,杭州,310018
文献出处：
引用格式：
[1]余森江;郭永杰;赵晓宇;卢晨曦;李领伟-.粘性基底上溅射薄膜褶皱的边界效应研究)[J].固体力学学报,2022(01):60-70
A类：
粘性基底
B类：
溅射薄膜,褶皱,边界效应,表面微结构,生物组织,仿生结构,工程领域,微机电系统,能源材料,生物传感,磁控溅射技术,胶体,积金,金属铁,约束边界,调控效应,折叠,迷宫,先是,略微,形貌特征,演化规律,物理机制,上金,金属薄膜,设计图案,图案化结构
AB值：
0.317681
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