典型文献
一种带有镂空图形的高性能微压电能量采集器
文献摘要：
设计了一种高平均应变量的单晶微压电能量采集器(PEH),通过热压键合、薄膜沉积等一系列加工工艺制备了 PEH原型,利用振动激励机构和阻抗分析仪测试了其输出性能.实验结果得出,在1g加速度和52 Hz谐振频率的条件下,该PEH的峰值电压和功率密度分别为22.5 V和1.89 μW/mm3.通过有限元模拟了三种镂空图形(三角形、矩形和梯形)的力学和电学性能.结果表明,在1g加速度条件下,与未镂空的PEH相比,梯形镂空式PEH的谐振频率降低了 24％,峰值电压提升了 57％,平均应力增大了 136％,实现了较佳的性能提升.
文献关键词：
压电能量采集器(PEH);悬臂梁;镂空;热压键合;薄膜沉积
中图分类号：
作者姓名：
张丽娟;王保志;董璇;张成功;赖丽燕;李以贵
作者机构：
上海应用技术大学电气与电子工程学院,上海 201418;上海应用技术大学理学院,上海 201418
文献出处：
引用格式：
[1]张丽娟;王保志;董璇;张成功;赖丽燕;李以贵-.一种带有镂空图形的高性能微压电能量采集器)[J].微纳电子技术,2022(07):649-656
A类：
B类：
镂空,空图,微压,压电能量采集器,高平,应变量,单晶,PEH,热压键合,薄膜沉积,系列加工,加工工艺,工艺制备,利用振动,振动激励,阻抗分析仪,输出性能,1g,谐振频率,峰值电压,功率密度,mm3,有限元模拟,三角形,梯形,电学性能,速度条件,平均应力,较佳,性能提升,悬臂梁
AB值：
0.313291
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