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基于蓝宝石衬底生长GaN的立式HVPE控制系统设计
文献摘要：
为了实现氢化物气相外延(HVPE)技术在蓝宝石衬底上外延生长氮化镓(GaN)过程的全自动控制,进一步提高系统的精确性和稳定性,设计了一种新型HVPE控制系统.该控制系统选用可编程逻辑控制器(PLC)为控制器,采用组态王开发系统监控软件.利用模糊推理机制和仿真分析,设计模糊比例积分微分(PID)控制器,提高反应室温区控制的快速性与稳定性.构建大、小质量流量通路,精准控制HVPE系统压力与质量流量,并进行控制系统性能测试.结果表明,该控制系统能较好地实现对GaN生长过程的自动监控,成功在蓝宝石衬底上生长出高质量6英寸(1英寸=2.54 cm)GaN,与现有的HVPE制备技术及监控手段相比,其自动控制程度更高,系统实时响应更快,更具实际生产应用价值.
文献关键词：
蓝宝石衬底;氢化物气相外延(HVPE);氮化镓(GaN);模糊控制;系统仿真;系统测试
中图分类号：
作者姓名：
余平;孙文旭;修向前;马思乐
作者机构：
山东大学海洋研究院,山东青岛 266237;南京大学电子科学与工程学院,南京 210046
文献出处：
引用格式：
[1]余平;孙文旭;修向前;马思乐-.基于蓝宝石衬底生长GaN的立式HVPE控制系统设计)[J].微纳电子技术,2022(05):458-464
A类：
B类：
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AB值：
0.35131
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