典型文献
一种载片刚性转架的动平衡校准探析
文献摘要：
旋转冲洗甩干机是半导体湿法清洗工艺中的主流设备之一,其关键技术之一,是如何克服该设备中载片刚性转架在高速旋转时产生的振动,从而引发盒装晶圆片在冲洗、干燥工艺流程中易出现碎片、干燥不彻底等现象,为此,对载片刚性转架结构的构建、转动不平衡修正、动平衡验证等方面进行分析探究.
文献关键词：
旋转冲洗甩干;刚性;转架;动平衡
中图分类号：
作者姓名：
于高洋;陶利权;杨晓静
作者机构：
中国电子科技集团公司第四十五研究所,北京 100176
文献出处：
引用格式：
[1]于高洋;陶利权;杨晓静-.一种载片刚性转架的动平衡校准探析)[J].电子工业专用设备,2022(02):66-70
A类：
旋转冲洗甩干
B类：
转架,动平衡,平衡校准,湿法清洗,清洗工艺,高速旋转,盒装,晶圆,干燥工艺,中易,转动,动不平衡,分析探究
AB值：
0.345887
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