典型文献
基于微同轴技术的射频传输及器件设计
文献摘要：
阐述射频微系统的微同轴结构在高频段、低损耗传输中的优势.探讨微同轴的基本结构及工艺流程,加工过程中存在的厚胶光刻、金属平坦化处理中的问题,分析国内相关单位在基于微同轴结构设计的功分器、滤波器、转换结构方面取得的进展.
文献关键词：
射频微系统;微同轴;低损耗传输;Poly Strata
中图分类号：
作者姓名：
王蕴玉;闵志先;马强
作者机构：
中国电子科技集团公司第三十八研究所,安徽省天线与微波工程实验室,安徽 230031
文献出处：
引用格式：
[1]王蕴玉;闵志先;马强-.基于微同轴技术的射频传输及器件设计)[J].集成电路应用,2022(08):1-3
A类：
射频微系统
B类：
微同轴,同轴技术,射频传输,器件设计,同轴结构,高频段,低损耗传输,基本结构,加工过程,厚胶,光刻,平坦化,功分器,滤波器,转换结构,Poly,Strata
AB值：
0.396486
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