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柔性氧化物薄膜晶体管研究进展
文献摘要：
氧化物半导体由于具有相对较高的载流子迁移率、良好的均匀性和光学透明度、较低的工艺温度、低成本及可在柔性衬底上制作等特点,近十年来引起了人们的广泛关注.基于氧化物有源层的柔性薄膜晶体管(TFT)已经在下一代显示器(AMOLED,Micro LED)、物联网技术、柔性传感器、可穿戴领域及微型植入系统等领域中获得应用.综述了氧化物TFT的器件结构,介绍了柔性氧化物TFT的研究进展,包括在不同种类的柔性衬底PET、PEN、PI上制作TFT的研究现状,并对氧化物TFT的未来发展进行了总结和展望.
文献关键词：
氧化物半导体;氧化物薄膜晶体管;柔性衬底;显示器
中图分类号：
作者姓名：
张立荣;肖文平;谢飞;赵良红;刘淳;李非凡;左文财;吴为敬
作者机构：
顺德职业技术学院,广东 佛山 528300;华南理工大学发光材料与器件国家重点实验室,高分子光电材料与器件研究所,广东 广州 510641
文献出处：
引用格式：
[1]张立荣;肖文平;谢飞;赵良红;刘淳;李非凡;左文财;吴为敬-.柔性氧化物薄膜晶体管研究进展)[J].材料研究与应用,2022(05):718-729
A类：
柔性薄膜晶体管
B类：
氧化物薄膜晶体管,氧化物半导体,载流子迁移率,光学透明,透明度,柔性衬底,有源,TFT,下一代,显示器,AMOLED,Micro,物联网技术,柔性传感器,可穿戴,器件结构,PET,PEN
AB值：
0.267385
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