典型文献
质谱仪定量分析微量气体D2的校准因子研究
文献摘要：
通过在质谱仪进气管路上安装的标定腔室与真空管路,实现了对与微球内气体含量相同范围的微量气体的获取.对质谱仪定量分析微量气体时的精密度及被测量氘气的压力对D2校准因子的影响进行了研究.结果表明:该四极质谱仪的精密度较高,不同压力下10次重复测量实验数据的相对标准偏差均小于0.004;校准后的一个月内质谱仪具有较高稳定性,其定量分析误差低于1％,准确度较高;D2和Ar的浓度校准因子在一年内的变化不超过3％,而D2的压力校准因子在一年内的变化超过8％;D2的压力校准因子 η 与被测量氘气的压力P1成反比,且 η 与logP1存在较好的线性关系,这种线性关系在半年内具有较高的稳定性.
文献关键词：
四极质谱;校准因子;定量分析;微球;微量气体
中图分类号：
作者姓名：
李海洋;张占文;刘梅芳;栾旭;史瑞廷;易勇
作者机构：
中国工程物理研究院 激光聚变研究中心,四川 绵阳 621900;西南科技大学材料科学与工程学院,四川 绵阳 621000
文献出处：
引用格式：
[1]李海洋;张占文;刘梅芳;栾旭;史瑞廷;易勇-.质谱仪定量分析微量气体D2的校准因子研究)[J].真空,2022(04):12-17
A类：
logP1
B类：
微量气体,D2,校准因子,进气管,腔室,真空管路,微球,气体含量,对质,精密度,氘气,四极质谱仪,重复测量,测量实验,相对标准偏差,一个月,内质,高稳定性,Ar,压力校准,成反比
AB值：
0.26061
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