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基于PECVD方法制备的透明硅氧烷(SiOxCyHz)阻隔薄膜特性研究
文献摘要：
柔性、透明的高阻隔性薄膜在有机太阳能薄膜电池、柔性有机发光二极管、电子纸和真空绝热板等领域都有需求.采用对电极辊结构的等离子体增强化学气相沉积方法,卷对卷的方式在聚酿(PET)基膜上,以硅醚(HMDSO)为单体,氧气(O2)为反应气体,制备了柔性硅氧烷(SiOxCyHz)薄膜.研究了膜厚,氧气/单体比例、压力等参数对透水率(WVTR)的影响规律、测试了膜层的组分、透射光谱、应力等特性.研究结果表明,透水率随硅氧烷薄膜厚度增大而减小,随氧气/单体比例增大而减小,随压力减小而增大.500 nm厚的硅氧烷薄膜透水率低于5×10-3g/(m2·day),可见光谱段(380-760 nm)透光率达到88.6％,表面粗糙度为1.8 nm,薄膜应力随薄膜厚度增加显著增大.
文献关键词：
硅氧烷薄膜;对电极辊;等离子体增强化学气相沉积方法;阻隔膜;透水率
中图分类号：
作者姓名：
董茂进;冯煜东;韩仙虎;蔡宇宏;秦丽丽;王毅;王冠;马凤英;王济洲
作者机构：
兰州空间技术物理研究所真空技术与物理国防科技重点实验室 兰州 730000
文献出处：
引用格式：
[1]董茂进;冯煜东;韩仙虎;蔡宇宏;秦丽丽;王毅;王冠;马凤英;王济洲-.基于PECVD方法制备的透明硅氧烷(SiOxCyHz)阻隔薄膜特性研究)[J].真空科学与技术学报,2022(02):99-103
A类：
SiOxCyHz,对电极辊,HMDSO
B类：
PECVD,高阻隔性,薄膜电池,有机发光二极管,电子纸,真空绝热板,等离子体增强化学气相沉积方法,PET,基膜,硅醚,O2,透水率,WVTR,膜层,透射光谱,硅氧烷薄膜,薄膜厚度,3g,day,可见光谱,透光率,表面粗糙度,薄膜应力,阻隔膜
AB值：
0.264941
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