典型文献
真空中的基板加热温度检测
文献摘要：
在真空环境中进行原子级别的薄膜生长,基板的表面温度监控是关键技术之一.针对不同尺寸的基板,通过热电偶测试基板近旁的温度和红外测温仪测试基板表面的温度,经过数据拟合获得两种测试方法所得温度的对应关系,基板表面的温度与近旁温度存在偏差,但两者之间存在较好的线性比例关系.
文献关键词：
真空加热;薄膜制备;真空温度;热辐射;电子轰击
中图分类号：
作者姓名：
石晓倩;郭方准
作者机构：
大连交通大学机械工程学院,辽宁大连116028
文献出处：
引用格式：
[1]石晓倩;郭方准-.真空中的基板加热温度检测)[J].真空电子技术,2022(01):72-75
A类：
B类：
基板,加热温度,温度检测,真空环境,原子级,薄膜生长,表面温度,温度监控,不同尺寸,热电偶,近旁,红外测温仪,数据拟合,比例关系,真空加热,薄膜制备,真空温度,热辐射,电子轰击
AB值：
0.464551
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